EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
0200-10377 Ring Eenzel 195mm DPS Kammer
Bei Semixlab liwwere mir héich performant Hallefleeder-Keramikkomponenten, déi fir usprochsvoll Plasmaveraarbechtungsëmfeld entwéckelt sinn. Eis AMAT 0200-10377 Ring Single 195mm DPS Chamber ass fir Applied Materials (AMAT) DPS-Ätzsystemer entwéckelt ginn, a bitt exzellent Plasmastabilitéit, Kammerschutz a Prozessuniformitéit fir fortgeschratt Hallefleederproduktioun.
Beschreiwung
Hiergestallt mat héichreinem Hallefleiter-Keramikmaterialien a Präzisiounsbearbeitungstechnologie, bitt dës Keramikringkomponent aussergewéinlech Resistenz géint Plasmaerosioun, thermesch Zyklen a Partikelgeneratioun an aggressiven Dréchenätzëmfeld.
D'AMAT 0200-10377 Ring Single 195mm DPS Chamber ass eng Präzisiounskeramikringkomponent, déi haaptsächlech an AMAT DPS (Decoupled Plasma Source) Systemer fir 200mm Waferveraarbechtungsapplikatioune benotzt gëtt.
Haaptfunktiounen:
● Héichreinheets Keramikmaterial
● Excellent RF-Plasma-Kompatibilitéit
● Niddereg Kontaminatioun a Partikelbildung
● Iwwerleeën Plasmaerosiounsbeständegkeet
● Héich mechanesch a thermesch Stabilitéit
● Präzisiounsbearbechtung fir d'Integratioun vun der DPS-Kammer
Rollen an AMAT DPS Systemer
An AMAT DPS Plasmaätzsystemer funktionéiert de Ring Single 195mm Keramikkomponent als e wichtegen Deel vun der Plasmakontroll a vum Schutz vun der Kammer.
Plasma Randkontroll
De Keramikrank hëlleft d'Plasmaverdeelung no beim Waferrand ze optimiséieren, wouduerch d'Uniformitéit vum Ätzprozess verbessert gëtt an d'Ofwäichung vum Randprozess bei der Plasmaveraarbechtung mat héijer Dicht miniméiert gëtt.
ESC & Kammerschutz
De Rank, deen ronderëm de Beräich vun der elektrostatescher Spannfutter (ESC) installéiert ass, wierkt als Schutzbarriär géint aggressiv Plasmachemien, hëlleft d'Erosioun vun der Kammer ze reduzéieren an d'Liewensdauer vun de Komponenten ze verlängeren.
RF-Plasma-Stabiliséierung
Mat stabilen dielektresche Charakteristiken dréit de Keramikrank zu enger verbesserter RF-Kopplung a Plasmastabilitéit an der DPS-Kammer bäi.
Kontaminatiounsreduktioun
Seng héichrein Keramikstruktur miniméiert d'Partikelbildung a Metallkontaminatioun a ënnerstëtzt doduerch fortgeschratt Ufuerderunge fir d'Reinheet vun den Hallefleiterprozesser.
Typesch Uwendungen a Hallefleiterprozesser
D'AMAT 0200-10377 Ring Single 195mm DPS Chamber gëtt wäit verbreet an fortgeschrattenen Dréchenätz- a Plasmaveraarbechtungsapplikatiounen agesat, dorënner:
Dielektresch Ätzung: Ënnerstëtzt e stabilt Plasmaverhalen während Oxid- an dielektresche Schichtätzprozesser.
Oxid- & Kontaktätz: Hëlleft d'Ätzuniformitéit an d'Kontroll vun de Waferkanten a Kontakt- a Bildungsprozesser ze verbesseren.
Metallätzen: Bitt Kammerschutz a Prozessstabilitéit a Metallplasma-Ätzungsumgebungen.
Fortgeschratt Plasmaveraarbechtung: Gëeegent fir Plasma-Uwendungen mat héijer Dicht, déi eng niddreg Partikelkontaminatioun a stabil HF-Leeschtung erfuerderen.
200mm Hallefleiterproduktioun: Optimiséiert fir AMAT DPS Systemer, déi 8-Zoll-Waferen a Hallefleederfabriken veraarbechten.
Firwat Semixlab?
Semixlab spezialiséiert sech op fortgeschratt Hallefleiter-Keramikkomponenten fir Plasmaätzungs-, Depositiouns- an Thermoveraarbechtungsausrüstung.
Mir proposéieren:
● Keramikmaterialien vun Hallefleiterqualitéit
● Präzisiounsbearbechtungsméiglechkeeten
● OEM-kompatibel Halbleiterdeeler
● Stabil Qualitéitskontroll
● Personnaliséiert Keramikléisungen
Eis Missioun ass et, Hallefleederhersteller mat zouverléissege, performante Materialléisunge fir Waferfabrikatiounsausrüstung vun der nächster Generatioun z'ënnerstëtzen.
eis Services
