EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
PZT Piezoelektresch Waferen
Mat dem explosive Wuesstem vun der 5G-Kommunikatioun, der Präzisiounsmedizin an intelligenten tragbaren Apparater hëlt d'Nofro um Maart fir héichempfindlech a energiespuerend MEMS-Transduceren zou. Eis piezoelektresch Wafer (PZT op Si/SOI) benotzen fortgeschratt Dënnschicht-Oflagerungsprozesser fir eng aussergewéinlech Uniformitéit an iwwerleeën piezoelektresch Eegeschaften op Siliziumsubstrater z'erreechen, an déngen domat als fundamentale Kär fir eng effizient elektromechanesch Energiekonversioun.
Beschreiwung
Benotzerdefinéiert Services
Nieft standardiséierte 8-Zoll PZT-Waferen bidden mir och extensiv Personaliséierungsméiglechkeeten, déi op déi spezifesch Ufuerderunge vun eise Clienten zougeschnidden sinn:
● Substratdiversitéit: Mir ënnerstëtzen Oflagerung op souwuel Si-Waferen ewéi och SOI-Waferen (mat engem Widderstand > 5000 Ohm/cm).
● Personnaliséierung vun der Dënnfolie: Spezifesch Dënnfolietypen an -dicken kënnen ugepasst ginn, fir den Designspezifikatioune gerecht ze ginn.
● Flexibel Gréisstenupassung: Mir bidden Veraarbechtungsméiglechkeeten fir souwuel 6-Zoll- wéi och 8-Zoll-Waferformater.
● Vum Client geliwwerte Waferen: Mir akzeptéieren vum Client geliwwerte Substrate fir piezoelektrescht Dënnschichtwuesstum.
Ären technesche Partner: Mir engagéieren eis fir eng ëmfaassend Ënnerstëtzung ze bidden - vun der Materialentwécklung bis zur struktureller Upassung. Egal ob Dir an der Fuerschungs- an Entwécklungsphase am Laboratoire oder an der Masseproduktiounsphase sidd, eis technesch Equipe ass bereet, déi piezoelektresch Léisungen ze bidden, déi am Beschten op Är Besoinen ugepasst sinn.
Spezifikatioune
Eis Standardprodukter gi mat 6-Zoll- an 8-Zoll-Prozesser hiergestallt, a si hunn sophistikéiert Méischichten-Strukturdesignen, déi eng stabil Leeschtung bei komplexe MEMS-Fabrikatiounsworkflows garantéieren.
Parameter vun der Schichtstruktur (Standard 8-Zoll)
| Layer | deck | Notéiert |
| Top Elektrode | personnaliséierten | Iewescht Elektrode |
| Piezo-Schicht | personnaliséierten | Kär piezoelektresch Schicht |
| Buffer Layer | personnaliséierten | Kontrollschicht vun der Kärenorientéierung |
| Ënnen Elektrode | 100 nm ± 10% | Ënnescht Elektrode |
| Adhäsiounsschicht | personnaliséierten | Adhäsiounsschicht |
| Substrat | personnaliséierten | 4/6/8-Zoll Optiounen verfügbar |
Schlësselleistungsindikatoren (Charakteristiken)
● Piezoelektresch Konstant (d31): 200 pC/N — Garantéiert eng héich effizient mechanesch Verdrängungsleistung.
● Piezoelektrische Koeffizient (e31): −15 C/m² — Liwwert eng héichempfindlech elektresch Ladungsantwort.
● Héich Uniformitéit: Verifizéiert iwwer XRD-Diffraktiounsanalyse, weist de PZT-Film eng staark (100) Orientéierung op, wat eng aussergewéinlech Leeschtungsuniformitéit iwwer de ganze Wafer garantéiert.
| PZT-Charakteristiken | Polykristall PZT |
| Piezoelektresch Konstant d31 | 200 pC/N |
| piezoelektrische Koeffizient e31 | -14 C/m² |
| Curie Temperatur | X ℃ |
SEM-Bild an XRD
Applicatioun
Fënnef Schlëssel Uwendungsberäicher
1. Piezoelektresch Ultraschallwandler (pMUT)
D'Notzung vun der héijer piezoelektrescher Konstant vu PZT-Dënnschichten fir héichfrequent, miniaturiséiert Ultraschallarrays ze kreéieren. Vill agesat an der Fangerofdrockerkennung ënner dem Display, Gestenerkennung an Ultraschallradarsystemer am Automobilsecteur.
2. RF-Filter & Kommunikatioun (RF MEMS)
A 5G- a 6G-Kommunikatiounssystemer si performant piezoelektresch Materialien entscheedend fir d'Hierstellung vun FBAR- a SAW-Filteren, wat méi grouss Bandbreeten a méi niddreg Insertiounsverloschter erméiglecht.
3. Akustesch MEMS (Lautsprecher/Mikrofonen)
MEMS-Lautsprecher mat enger iwwerleeëner transienter Äntwert an engem Schalldrockniveau (SPL) ginn ermächtegt, wärend gläichzäiteg de Signal-Rausch-Verhältnis (SNR) vun de MEMS-Mikrofonen erhéicht gëtt, fir High-Definition-Audioopnam z'erméiglechen.
4. Präzisiounsflëssegkeetskontroll (Tëntendruckkäpp)
Benotzt Héichgeschwindegkeetsvibratiounen am d31-Modus fir eng Präzisioun op Nanoliterniveau bei der Kontroll vun den Tëntendrëpsen ze erreechen; déngt als Käraktuatiounskomponent fir industriell héichopléisend Tëntendrocksystemer.
5. Medizinesch Ästhetik & Mikropompelen
Mir fueren medizinesch Vernebler an ästhetesch Ultraschallpompelen un. Duerch d'kompakt Gréisst an déi héich Zouverlässegkeet vu PZT-Dënnschichten erméiglechen mir déi effizient Zerstäubung an déi präzis Liwwerung vu flëssege Medikamenter.
