EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC Cantilever Paddelen
D'SiC Cantilever Paddles vu Semixlab si präzis konstruéiert Komponenten, déi fir d'Waferbehandlung an Héichtemperatur-Halbleiterprozesser wéi Epitaxie, Oxidatioun a CVD entwéckelt goufen. Dës Paddles, déi aus héichreinem rekristalliséiertem oder CVD-Siliziumcarbid hiergestallt sinn, bidden eng exzellent thermesch Leetfäegkeet, eng niddreg thermesch Expansioun an aussergewéinlech chemesch Resistenz. Hire liichte, héichfeste Design garantéiert dimensional Stabilitéit a Waferschutz bei schnelle thermesche Zyklen. Semixlab, dat vu weltwäite Leader an der Hallefleitproduktioun vertraut gëtt, bitt voll personaliséiert Léisungen, séier Liwwerung an eng laang Produktliewensdauer - wat et zu engem ideale Partner fir fortgeschratt Hallefleiterproduktiounsbedürfnisser mécht.
Beschreiwung
Ⅰ. Héichreine SiC-Cantilever-Paddelen fir präzis Waferbehandlung
SiC Cantilever Paddles si kritesch Komponenten, déi an thermesche Veraarbechtungsausrüstung fir d'Handhabung vu Waferen während Epitaxie-, Diffusiouns- an Oxidatiounsschrëtt an der Hallefleederfabrikatioun benotzt ginn. Hir aussergewéinlech thermesch a mechanesch Eegeschafte maachen se ideal fir Héichtemperatur- a korrosiv Ëmfeld a Cleanroom-Betriber.
Ⅱ. Produkt Iwwersiicht & funktionell Virdeeler
1. Aussergewéinlech Materialeegeschafte fir héich performant Uwendungen
D'SiC Cantilever Paddles vu Semixlab gi mat héichreinem, rekristalliséiertem Siliziumcarbid (R-SiC) oder CVD SiC Beschichtungen hiergestallt, wat eng exzellent Wärmeleitfäegkeet (bis zu 120 W/m·K), eng niddreg Wärmeausdehnung (~4.0 x 10⁻⁶/K) an eng aussergewéinlech Korrosiouns- an Thermoschockbeständegkeet garantéiert. Dës Eegeschafte garantéieren eng stabil Waferënnerstëtzung bei Héichtemperaturprozesser, wouduerch d'Risike vun der Waferverformung oder dem Kontaminatiounsrisiko miniméiert ginn.
2. Iwwerleeën Dimensiounsstabilitéit a Flaachheet
Mat minimaler Verzerrung och bei Temperaturen iwwer 1400°C garantéiert den Cantilever-Design eng eenheetlech Wafer-Placement an -Transfer, wat fir d'Uniformitéit vun der epitaktischer Schicht entscheedend ass. Déi niddreg Mass an héich Steifheet vum SiC verbesseren de Systemduerchgank an d'Temperaturreaktioun während der schneller thermescher Veraarbechtung.
3. Uewerflächenreinheet a propperem Raum
Dank der dichter a glatter SiC-Uewerfläch miniméieren d'Semixlab-Paddelen d'Partikelbildung an d'Ofgasung. Dëst ass besonnesch wichteg an Ëmfeld, déi Rengheetniveauen no Klass 1 oder ISO 14644-1 Klass 2 erfuerderen.
4. Geschnidden fir Epitaktesch-, Diffusiouns- an CVD-Uewen
Eis SiC Cantilever Paddles gi wäit verbreet a MOCVD-, LPCVD- an Oxidatiounsuewenplattforme benotzt a si kompatibel mat féierende Ausrüstungsmarken wéi ASM, TEL a Veeco. Si sinn entwéckelt fir optimal thermesch Uniformitéit a mechanesch Präzisioun, wat hëlleft eng méi héich Ausbezuelung a manner Prozessvariatiounen ze garantéieren.
Ⅲ. Firwat Semixlab wielen?
Mir bidden op Mooss ugepasst Ingenieursdéngschter, dorënner:
● Produktpersonaliséierung fir Gréisst, Struktur a Materialqualitéit
● Beschichtungsoptimiséierung fir thermesch a chemesch Resistenz
● Schnell Prototyping a Produktioun a klenge Serien
● Technesch Berodung a Designvalidatioun
Als féierende chinesesche Produzent a Fabréck vu SiC Cantilever Paddles Produkter insistéiert Semixlab drop, personaliséiert Technologie a Produktléisungen ze bidden. Egal ob Dir de bestehenden Hëtztbehandlungsprozess optimiséiere wëllt, héich performant Ersatzdeeler kaaft oder gemeinsam personaliséiert SiC-Léisunge entwéckele wëllt, Semixlab bitt Iech techneschen a Liwwerënnerstëtzung.
Applicatioun
● MOCVD Epitaxie-Waferträger
● Paddeläerm vum Oxidatiouns- an Diffusiounsuewen
● Wafer-Ladesystemer an LPCVD/CVD-Tools
● Personnaliséiert Susceptor-Ënnerstëtzungsäerm fir de Wuesstum vu Verbindungshalbleiter
eis Services
Semixlab Produktshop
