Doheem> showlist
Siliziumdioxid, besser bekannt als SiO₂, ass e Schlësselmaterial, dat bei der Fabrikatioun vu klenge Geräter benotzt gëtt. Bei Semixlab veraarbechte mir Siliziumwafer mat detailléierte Musteren, mat enger Technik déi genannt gëtt sio2 Dréchenätzen g. Wéi funktionéiert dës Method dann?
SiO₂-Drécheätzen bezitt sech op e Prozess fir Siliziumdioxid op Siliziumwafer mat spezifesche Chemikalien a Plasma ze ätzen. Energie gëtt och dem Plasma bäigefüügt, wat eng Zort Gas ass. Mat Hëllef vu Plasma kënne mir d'SiO₂-Schicht ewechhuelen, ouni seng ënnerläit Schichten ze beschiedegen.
Wann mir brauchen sio2 Dréchenätzen Fir méi effektiv ze sinn, musse mir e puer Saachen astellen, wéi zum Beispill de Gasduerchfluss, den Drock an d'Leeschtung. Wann mir dës Astellungen upassen, kënne mir kontrolléieren, wéi séier a wéi effektiv mir nëmmen de Semixlab SiO₂ ätze kënnen. Dëst ass entscheedend, well mir SiO₂ ätze wëllen, ouni aner Materialien um Wafer ze beréieren.
Et gëtt verschidde Méiglechkeeten, fir Semixlab SiO₂-Drécheätzung duerchzeféieren. Eng vun den übleche Methoden ass d'Reaktiv-Ionenätzung (RIE), bei där eng Mëschung aus Gase fir d'SiO₂-Schicht benotzt gëtt. Plasmaätzen An enger anerer Method gëtt e Prozess mat déiwer Reaktiouns-Ionenätzung (DRIE) benotzt, fir a verschiddene Schrëtt déif Ätzen an der SiO₂-Schicht ze liwweren.
Eng Komplikatioun beim SiO₂-Drécheätzen ass et, näischt anescht wéi Semixlab ewechzehuelen. naass Ätzung SiO₂. Fir dëst ze iwwerwannen, kann eng Mask benotzt ginn, fir déi aner Materialien géint Ätzen ze schützen. Eng weider Erausfuerderung ass et, sécherzestellen, datt d'Ätzen am ganze Wafer gläichméisseg ass. Mir kënnen dëst Problem léisen, andeems mir eis Ausrüstung an Astellungen upassen.
Dës Semixlab SiO2 Drécheätzung gëtt duerchgefouert fir wichteg Deeler wéi Trenches a Verbindungen op Siliziumsubstrater ze bilden. Dës Stécker si wesentlech fir d'Fabrikatioun vu Saachen wéi integréierte Schaltungen a Sensoren. Mir kënne komplizéiert Mustere ganz präzis erstellen mat sio2 Dréchenätzen
EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
