SiC Keramik

SiC-Keramik gëtt ëmmer méi a Hallefleederausrüstung benotzt, haaptsächlech well se besser ënner méi haarde Konditioune haltbar ass. Wann d'Temperatur héich gëtt oder de Prozess méi aggressiv gëtt, kënne Materialien wéi Quarz oder Silizium ufänken Grenzen ze weisen, an do kënnt SiC normalerweis an d'Spill. A Schmelzprozesser wéi Oxidatioun oder Diffusioun hunn Deeler wéi Waferbooter oder Paddelen aus SiC méi laang Liewensdauer. Si behalen hir Form a bréngen net vill Kontaminatioun mat sech, och no laange Lafzäiten. Aus dësem Grond wiesselen d'Leit dacks vu Quarz, besonnesch wann d'Ënnerhalt ze dacks gëtt.

Fir d'Ätzen gëtt SiC dacks gewielt, einfach well et méi laang am Plasma hält. Den Ënnerscheed an der Liewensdauer am Verglach mat Siliziumdeeler ass a ville Konfiguratiounen bemierkbar, obwuel et ëmmer nach vum geneeë Prozess ofhänkt. Et hëlleft och e bëssen bei der Partikelkontroll, déi méi empfindlech gëtt, wa sech d'Knoten schrumpfen. Dir gesitt och SiC als Susceptoren a MOCVD oder CVD benotzt. An dëse Fäll geet et manner ëm "Stäerkt" a méi ëm d'Stabilitéit vum Temperaturverhalen. Ausserdeem weist et sech a Kammerdeeler wéi Auskleidungen oder Duschkäpp, an heiansdo och a Bearbeitungskomponenten.